MEMS和传感器

微米尺寸的设备，设计为感知或操纵物理世界

Amkor是微电子包装技术的世界领导者，以及微机电系统（MEMS）和微型光学电子机械系统（MOEMS）的最大外包供应商。我们的MEMS /传感器包装用于加速度计，陀螺仪，磁力计，麦克风和传感器，包括压力，温度，红外，生物医学，化学和气体。

MEMS是可以感知或操纵物理世界的微米尺寸的装置。MEMS使用微加工过程创建，类似于用于生产集成电路IC器件的微加工过程。这允许在IC设备的典型典型的相同小区域中创建两个或三维机械系统。由于FAB过程类似于IC制造，因此通常在硅晶片上产生MEMS，但也可以使用其他基板类型。由于尺寸，可以在单个晶片上制造成千上万的这些装置。