MEMS /センサー

用于感知或操纵物理世界的微米大小的设备

公司はマイクロエレクトロニクスパッケージング技術の世界的なリーディングカンパニーであり,微电子机械系统(MEMS)および微型光学电子机械系统(多项)の最大のアウトソースプロバイダーです。当社のMEMS /センサーは,加速度計,ジャイロスコープ,地磁気計,マイクロフォンおよび圧力,温度,赤外線,生物医学,化学およびガスなどのセンサをサポートしています。

MEMSは物理的世界を感知または操作することのできるミクロンサイズのデバイスです。MEMSは集積回路(IC)を製造するプロセスと類似したマイクロマシン加工プロセスを使用して製造されます。これにより2次元または3次元の微細な機械的システムを,一般的なICと同程度の小さなエリアに製造することができます。プロセスがIC製造と類似しているため,MEMSは一般的にシリコンウェハ上で作られますが,他のタイプの基板も使用可能です。極めてサイズが小さいため,一枚のウェハ上に数万個のデバイスが形成されます。